F100是由重庆富润吉光电技术有限公司于2025年新研制的一款菲索型动态干涉仪,是一种光学元件面形在线检测的高精度检测仪器,同时可直接应用于大口径光学系统成像质量在线检测。
应用场景:
大口径非球面光学测量
车间环境下光学件在线检测
大型光学系统以及长焦光学系统在线装调半导体晶圆平整度/消费电子领域光学测量
可选配内容:
高性能笔记本计算机(推荐)/台式计算机
不同尺寸/不同F数的高精球面标准镜头
精密五维调整架
工作模式:空域载波相移/高速时域相移
相机:图像位深10bit,分辨率1024*1024,帧率36fps
激光器:高功率单频半导体激光器,满载功率30mw，波长633nm±0.5。可选波长为632.8nm稳频He-Ne激光器（定制）
相干长度:>100m
通光口径:100mm(可定制/150mm/300mm口径)
偏振态:圆偏振光
调焦范围:±35mm
数据格式:与Zygo通用的dat/xyz格式
计算机操作系统:Windows10/11 x64
系统软件:Fringe相位分析软件,包括在线测量/离线分析模式;曝光/增益控制;激光功率设定;电动对焦;监视对点相机显示;条纹显示及掩模功能;泽尼克数据分析;像差分析;数据运算处理;结果展示&保存&报告生成
主机尺寸:492mm*225mm*190mm
重量:17kg
功耗:150W
工作温度范围:15到30°℃(59-86F)
重复测量RMS:入/2000入@633nm
系统误差RMS:入/500入@633nm